SBC-16 是一款结构紧凑的桌上型镀膜系统，特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。

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详细介绍

主要特性

1、通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程，避免样品表面受损。

2、操作容易快捷，控制的参数包括放气以及氩气换气控制。

3、数字化的喷镀电流控制不受样品室内气压影响，可得到一致的镀膜速率和最佳的镀膜效果。

4、可使用多种金属靶材：Au， Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd（Au 靶为标配），靶材更换快速方便。

技术参数

溅射系统
靶材	Au 靶为标配，可选 Pt，直径 57mm x 0.1mm 厚
标准样品台	可以装载 12 个 SEM 样品座，高度可调范围为 60mm
旋转倾斜样品台（选配）	旋转速度： 0~60rpm 连续可调，倾斜角度： -90 °~ 90°连续可调；不锈钢腔体：直径 120mm X 高 75mm；观察窗：直径 120mm X 高 45mm；标配旋转台直径 40mm，可放 4 个标准样品台，其它规格可订做；具有双重锁紧装置，可确保样品在旋转倾斜时不会松动脱落。
溅射电流	微处理器控制，安全互锁，可调，电流 5~30mA，程序化数字控制
计量表	真空： Atm - 1*10-3 mbar，电流： 0~99mA
控制方法	带有 “开始"“暂停"按钮的微处理控制器（1－999s），自动抽气、溅射、关机后自动放气。
真空系统
抽气速率	133L/MIN
极限真空	10-4 mbar 级
噪音	56dB