主要用于扫描电子显微镜镀覆导电膜制备或电极制备等，通常是中小型扫描电子显微镜制样的仪器。
主要用途：金、铂、钯、金钯合金、铂靶合金、银、铜、锑、锡、锌、铟、镁等离子溅射

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