KYKY-EM8200超高分辨场发射扫描电子显微镜，采用全新电子光学设计，基于减速样品台、新一代
低像差物镜、Inlens探测器等技术，集成丰富的图像处理功能，为新能源、半导体等用户提供全新解
决方案。

一、KYKY-EM8200场发射扫描电镜 产品介绍

KYKY-EM8200超高分辨场发射扫描电子显微镜，采用全新电子光学设计，基于减速样品台、新一代

低像差物镜、Inlens探测器等技术，集成丰富的图像处理功能，为新能源、半导体等用户提供全新解

决方案。

二、KYKY-EM8200场发射扫描电镜 产品特点

1、高分辨电子光学系统

新一代低像差物镜

减速样品台

低压高分辨成像

2、高校便捷的用户体验

全新的用户界面设计

丰富的软件测量功能

光学导航

着陆束流检测

3、高性能信号探测系统

低噪声Inlens探测器

自动推入式背散射探测器

丰富的探测器拓展接口

三、KYKY-EM8200场发扫描电镜 技术参数

四、KYKY-EM8200场发射扫描电镜 产品功能

· 可任意设置不同探测器的信号混合比例

五、定制能力

1、电子束曝光（EBL）

2、真空互联

·真空互联系统可以在真空状态下对样品进行预处理，并传递到扫描电镜内进行观测。

·自动检测和反馈系统，对样品标签、位置状态、样品交接进行监控和记录，可以清晰的了解样品传输状况。

3、激光联用-超快电镜

·超快电镜利用激光、电场等外界刺激使样品达到激发态。使用时间延迟可调的另一束激光作用于电镜灯丝，产生脉冲电子束照射于样品表面进而收集表面逸出的二次电子对激发瞬态进行表征。

六、应用示例