科仪光电亮相上海国际半导体展览会SEMICON CHINA 2026

    3月25日-27日，半导体“嘉年华"--SEMICON China2026在上海新国际博览中心举办。在北京中科科仪股份有限公司(简称中科科仪)的统一组织下，科仪光电作为电子光学技术板块参展，现场展示以超高分辨场发射电子显微镜为代表的系列电子显微技术产品及半导体领域表征应用解决方案。

   科仪光电重点展示了针对半导体微观形貌观测、线宽测量、失效分析等应用场景的超高分辨场发射电镜KYKY-EM8200，吸引众多行业专家、设备制造商和产业链上下游企业代表驻足交流。

   KYKY-EM8200超高分辨场发射电镜具有自研高分辨电子光学系统，突破低像差。物镜、低噪声Inlens探测器等核心技术，分辨率可达0.8nm@15kV、1.5nm@1kV，清晰捕捉晶圆缺陷、光刻线宽等细微结构，同时可避免样品损伤，适配芯片的精密检测需求。

    未来，科仪光电将继续紧跟半导体产业发展前沿，持续提升行业应用能力，助力推动半导体检测装备的国产化进程。